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Máquina de Limpeza de Wafers SM-1441
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Máquina de Limpeza de Wafers SM-1441

Modelo do produto:

SM-1441

Descrição do Produto

Este equipamento emprega principalmente um design centrífugo de alta velocidade, associado a sistemas duplos de limpeza por fluido e de eliminação de estática, para alcançar uma secagem e limpeza completas dos produtos que estão sendo limpos. Ele é utilizado principalmente para a limpeza de componentes de entrada para conjuntos de câmeras, tais como lentes, suportes de lente e outras peças laváveis. O equipamento conta com um módulo de controle integrado com tela sensível ao toque e está equipado com uma unidade FFU e um sistema de filtragem de película de óleo de precisão. Possui poderosas capacidades de programação e uma interface de operação amigável.
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Detalhes do Produto

Características da máquina:
1. Fixação ajustável para colocação de produtos, capaz de limpar produtos de 5 polegadas, 8 polegadas e 12 polegadas (personalizada de acordo com o tamanho da fixação do produto do cliente).
2. Os procedimentos operacionais podem ser personalizados e ajustados de acordo com as necessidades reais do trabalho, tornando-os convenientes, rápidos e mais fáceis de usar.
3. Design do braço de pulverização rotativo: O braço de pulverização gira tanto durante a lavagem quanto durante a centrifugação, evitando a recontaminação do produto após a centrifugação.
4. Design centrífugo de alta velocidade, com uma faixa de ajuste de velocidade no sentido anti-horário de 10–2000 (r/min).
5. As barras de pulverização superior e inferior podem ser alternadas manualmente para operar de forma independente ou simultânea (tanto para gás quanto para água pura).
6. O dispositivo vem com um sistema de filtragem de ar em duas etapas que garante ar mais limpo após a conexão, com um nível de filtragem de 0,01 μm.
7. O dispositivo vem com um sistema de filtragem integrado para fonte de água purificada, garantindo que a água DI fornecida ao equipamento conectado seja ainda mais limpa, com um nível de filtragem de 1 μm.
8. O ambiente interno da máquina pode atingir a Classe 10 em condições estáticas, reduzindo mais eficazmente a contaminação secundária após a limpeza do produto.
9. Os componentes-chave das linhas de água e gás são feitos de material SUS316, garantindo ainda mais a pureza das fontes de água e gás.
10. A máquina inteira apresenta um corpo de aço inoxidável SUS304 com acabamento espelhado, resistente à corrosão por ácidos e álcalis, ecologicamente amigável e mais fácil de limpar.
11. O design da câmara de limpeza protegido por patente, com filtragem secundária de ar FFU em aço inoxidável, garante a descarga em circuito aberto de água DI e ar, prevenindo assim a poluição secundária.
12. A bandeja de fixação para wafers de 4 a 12 polegadas é usinada com uma máquina de retificação de precisão para garantir amplitude mínima durante a rotação em alta velocidade e operação estável.
13. Bocal de barra de pulverização projetado por patente, com atomização uniforme e pressão de pulverização consistente.

 

Parâmetros da máquina:

Dimensões do dispositivo (mm)

550(C) × 750(L) × 1650(A)

Diâmetro da entrada de água pura

Mangueira de Φ12mm

Especificações do Fixador

Personalizado de acordo com os produtos do cliente

Diâmetro da saída de drenagem

Diâmetro externo 30 mm, diâmetro interno 25 mm, tubo de tempestade

Diâmetro da saída

4″ (110mm) × 2 unidades (requer ventilação aprimorada, com velocidade do fluxo de ar superior a 3 m/s)

Diâmetro da entrada de fonte de ar

Mangueira de ar PU de 12 mm de diâmetro

Fonte de alimentação

Alimentação trifásica de cinco fios

Consumo de energia

Durante a limpeza: aproximadamente 1,5 kW/h (máquina em produção normal)

Potência total

2KW

Abastecimento de gás

0.40-0.7Mpa

Velocidade centrífuga

10–2000 rpm

Demanda de abastecimento de água DI

Pressão > 0,25 MPa; Vazão > 10 L/min

Potência do motor

1500W

Modo de condução

Motores servo (Mitsubishi/Panasonic/Delta)

Consumo de água pura

0-4 L/min

Método de filtragem ambiental

Eficiência de filtragem de 0,3 μm: 99,9995%

Consumo de gás

50-100L/Min

Peso líquido da máquina

Aproximadamente 220 kg

Método de filtragem de ar

5 μm × 1 (filtragem primária); 0,01 μm × 1 (filtragem de precisão); 0,01 μm × 1 (filtragem de precisão)

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