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Máquina de Espumação de CO₂ SM-COII-900LH
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Máquina de Espumação de CO₂ SM-COII-900LH

Modelo do produto:

SM-COII-900LH CO₂

Descrição do Produto

Este equipamento dissolve gás CO₂ na água DIW. O dióxido de carbono dissolvido é convertido em íons dentro da água DIW, eliminando eficazmente a carga eletrostática durante os processos de limpeza de semicondutores e prevenindo danos eletrostáticos, bem como a adesão de poeira. É adequado para uso em equipamentos de processo que exigem alta limpeza ou limpeza livre de estática, tais como limpeza de dicing, limpeza de placas de máscara, limpeza com lavadores, limpeza sob alta pressão e limpeza de caixas Foup.
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Detalhes do Produto

Características do dispositivo:

1. Estrutura simples, operação conveniente e baixa taxa de falhas.

2. Os componentes de tubulação e válvulas são feitos de material PFA para garantir a pureza ultrapura da água.

3. A membrana de filtragem de dióxido de carbono é feita de material PTFE, garantindo limpeza e uma longa vida útil.

4. A resistividade estabilizou-se dentro de ±15%.

5. Mantenha uma resistividade estável sob taxas de fluxo extremamente baixas.

6. Equipado com uma função de alarme de vazamento

7. Suporta registro de dados e consultas históricas.

 

Parâmetros do dispositivo:

Nome do dispositivo Máquina de espuma de CO₂ Pressão de entrada do misturador 0,05–0,1 MPa
Modelo do dispositivo SM-COII-9OOLH Pressão de entrada 0,35–0,45 MPa
Capacidade de processamento 50-14000mL/min Potência do dispositivo Monofásico 220 V CA
Faixa de controle do valor de resistência 0,1–2,0 MQ*cm Potência do dispositivo 0,2 kW
Use gás CO₂, pureza de 99,99% ou superior (livre de óleo, livre de partículas) Dimensões do dispositivo 240L × 504P × 440A
Use a fonte de água >15M água ultrapura Peso do dispositivo 28 Kg
Pressão de entrada do equipamento 0,2–0,4 MPa / /

 

 

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