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Estação de Limpeza Manual SM-MCP-200
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Estação de Limpeza Manual SM-MCP-200

Modelo do produto:

SM-MCP-200

Descrição do Produto

Equipamento dedicado para limpeza e processamento manual úmido de wafers. Sua função principal é permitir que os operadores utilizem solventes orgânicos (como acetona, etanol, NMP, etc.) ou solventes inorgânicos (SPM, SC₁, SC₂) para remover contaminantes da superfície do wafer — tais como fotoligante, partículas, impurezas metálicas e substâncias orgânicas residuais — por meio de procedimentos manuais específicos, incluindo imersão, enxágue e limpeza com pano.
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Detalhes do Produto

Características do dispositivo:
1. Equipado com 3 tanques de quartzo e 2 tanques QDR de PVDF

2. Suporte padrão lavável para cartões de bolacha dedicado de 3 polegadas/6 polegadas/8 polegadas *1

3. Unidade opcional de proteção contra incêndios: detecção IR (ponto de fulgor) / TH (detecção térmica), certificação 3C

4. A porta frontal de operação do equipamento apresenta um design integrado de pressão e deslizamento (com uma janela de vidro transparente resistente a explosões).

5. Dois sistemas de exaustão de alta capacidade, válvulas ajustáveis manualmente, alarme de baixa pressão de ar e manômetro de pressão diferencial.

6. Intertravamento de segurança para aquecimento, proteção contra vazamentos

 

Parâmetros do dispositivo

Tipo de Especificação Bancada de limpeza orgânica / Bancada de limpeza inorgânica Slot QDR Quantidade: 2; design real baseado em volume; material PVDF.
Dimensões da máquina 1800 mm × 1200 mm × 1950 mm Nome do Medicamento DIW
Tanque de processamento Quantidade: 3, Volume: 16L, Feito de quartzo Temperatura do processo RT
Nome do Medicamento Líquido orgânico Monitoramento do Nível de Líquido Sensor de Nível de N₂ de Vários Estágios
Temperatura do processo RT～80℃ ±3℃ Valor de resistência à água Medidor externo de resistência à água
Método de aquecimento Aquecimento em banho-maria Spray superior Pulverização esquerda-direita
Detecção de temperatura PT100*2 Borbulhamento de N₂ A distribuição de bolhas no fundo do tanque é uniforme, e o tamanho das bolhas pode ser ajustado por meio de um regulador manual de pressão.
Monitoramento do Nível de Líquido Sensor de Nível de N₂ de Vários Estágios Estrutura de calha Sobrecarga + Descida Rápida
Tampa de slot Tampa de compartimento PVDF manual Tempo de ordenação rápida Todo o tanque pode ser esvaziado em 5 segundos.
Material de válvulas e tubulações PFA Abastecimento de água O abastecimento de água da fábrica completou o reabastecimento superior e inferior.
Ultrassom 40 kHz, 600 W (potência ajustável) Emissão Utilidades de instalações de descarga por gravidade — tubulações separadas para águas residuais líquidas e água reciclada.
Modo de fornecimento de ácido Abastecimento manual de ácido /
Emissão Descarga por gravidade para instalações industriais — líquidos residuais e águas residuais fluem por tubulações separadas. /

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