Máquina de Limpeza de Tubos de Fornalha SM-TUR-100
Modelo do produto:
SM-TUR-100
Descrição do Produto
Os limpadores verticais e horizontais para tubos e barcos são amplamente utilizados em áreas como circuitos integrados, embalagens e fotovoltaica. Utilizando um método de processamento por imersão, esses limpadores são empregados principalmente na limpeza de tubos/barcos de quartzo e tubos de carboneto de silício usados em equipamentos de difusão e epitaxia com tamanhos de wafers de 12 polegadas ou menores.
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Detalhes do Produto
Características do dispositivo:
1. As opções disponíveis incluem métodos de limpeza totalmente automáticos, de imersão e por pulverização.
2. Máquina multiuso, compatível com a limpeza de tubos/balsas de quartzo.
3. Sistema automático de dispensação de líquido para substituição rápida de ácido.
4. Configuração de Intertravamento de Segurança em Camadas
Parâmetros do dispositivo
| Dimensões da máquina | Bancada de limpeza orgânica / Bancada de limpeza inorgânica |
| Tanque de processamento | Quantidade: 3, Capacidade: 16L, Feito de quartzo |
| Nome do Medicamento | Líquido orgânico |
| Temperatura do processo | RT~80℃ ±3℃ |
| Método de aquecimento | Aquecimento em banho-maria |
| Detecção de temperatura | PT100*2 |
| Monitoramento do Nível de Líquido | Sensor de Nível de N₂ de Vários Estágios |
| Tampa de slot | Tampa de compartimento PVDF manual |
| Material de válvulas e tubulações | PFA |
| Ultrassom | 40 kHz, 600 W (potência ajustável) |
| Modo de fornecimento de ácido | Abastecimento manual de ácido |
| Emissão | Descarga por gravidade para instalações industriais — líquidos residuais e águas residuais em tubulações separadas. |